Установка плазменной очистки серии CD

Установка плазменной очистки серии CD предназначена для удаления наволакивания смолы в местах торцевых контактов после сверления перед металлизацией. Вакуумная система имеет в своем составе насос, который расположен под установкой. В состав этой системы входит ротационный лопастной насос и двухроторный насос. Также система оборудована вакуумным клапаном для отключения вакуума от камеры.

В зависимости от задач в системе используется до 5 газопроводов. Подачей газа управляет контроллер массового расхода (КМР). КМР разработаны для стабильного измерения величины потока газа вне зависимости от давления и температуры при изменениях условий процесса. КМР автоматически настраивается программным обеспечением и может контролировать поток в диапазоне от 10 до 100 %. Газ подается в камеру равномерно через зажимы плат. Поток проходит через всю камеру сверху вниз для увеличения равномерности распределения газа.