Установка прямого экспонирования

Установка прямого экспонирования заменяет несколько этапов технологии фотолитографии от процесса изготовления фотошаблонов, до экспонирования. Точное базирование позволяет экспонировать платы даже при нелинейных искажениях (рисунок платы корректируется при помощи программного обеспечения).

Особенности:

прямое экспонирование непосредственно по фоторезисту
быстрый возврат затрат на оборудование
не требует частого обслуживания
нет износа оборудования
работа со стандартными типами материалов
автоматическое совмещение по отверстиям или реперным знакам
экспонирование даже на неровных поверхностях
очень малая тепловая нагрузка на экспонируемый материал

Технические характеристики
	DL300B	DL300B-Adv	DL300G-Adv
Рабочая область	300 х 300 мм	300 х 300 мм	300 х 300 мм
Длина волны	532 нм	1064 нм	532 нм
Повторяемость	≤ 2 мкм	≤ 2 мкм	≤ 2 мкм
Позиционирование	≤ 0,5 мкм	≤ 0,5 мкм	≤ 0,5 мкм
Мощность лазера	30 Вт	20 Вт	20 Вт
Разрешение по осям X / Y	≤ 0,5 мкм	≤ 0,5 мкм	≤ 0,5 мкм
Разрешение поля сканирования	1 мкм	1 мкм	1 мкм
Позиционирование	CCD камера	CCD камера	CCD камера
Габаритные размеры	900 х 850 х 1450 мм	900 х 850 х 1450 мм	900 х 850 х 1450 мм
Вес	270 кг	270 кг	270 кг
Формат данных	Gerber, HPGL, Sieb & Meier, Excellon, ODB++, DXF	Gerber, HPGL, Sieb & Meier, Excellon, ODB++, DXF	Gerber, HPGL, Sieb & Meier, Excellon, ODB++, DXF
Вытяжное устройство	в комплекте	в комплекте	в комплекте
Вакуумный насос	в комплекте	в комплекте	в комплекте
Электропитание	220 В, 50 Гц	220 В, 50 Гц	220 В, 50 Гц
Потребляемая мощность	1,7 кВт	1,7 кВт	1,8 кВт